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Untersuchungen zur rasterkraft- und konfokalmikroskopischen Charakterisierung nanometrologischer Referenzkörper

dc.contributor.authorSchaude, Janik
dc.date.accessioned2025-11-28T05:12:59Z
dc.date.available2025-11-28T05:12:59Z
dc.date.issued2024
dc.date.submitted2025-11-20T09:43:37Z
dc.identifierONIX_20251120T103930_9783961477777_47
dc.identifierhttps://library.oapen.org/handle/20.500.12657/108318
dc.identifier.urihttps://doab-dev.siscern.org/handle/20.500.12854/206619
dc.description.abstractHochgenaue Fertigungstechnologien stellen die dimensionelle Messtechnik vor enorme Herausforderungen. In Ermangelung geeigneter Sensorsysteme sind Messungen an komplexen Geometrien mit einem Höchstwert der Messunsicherheit im Nanometerbereich ein größtenteils immer noch ungelöstes Problem. Hauptursächlich ist das Fehlen geeigneter Verfahren zur hochgenauen Kalibrierung mikrodimensionaler Referenzkörper sowohl hinsichtlich ihrer Grob- als auch ihrer Feingestalt. In der vorliegenden Arbeit werden zwei diesbezüglich potentiell geeignete Messmethoden präsentiert und untersucht. Dies ist zum einen ein Rasterkraftmikroskop mit einstellbarer Antastrichtung zur Kalibrierung der Feingestalt und zum anderen die bidirektionale Konfokalmikroskopie zur Kalibrierung der Grobgestalt nanometrologischer Referenzkörper.
dc.languageGerman
dc.relation.ispartofseriesFAU Studien aus dem Maschinenbau
dc.rightsopen access
dc.subject.classificationthema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues::TBM Instruments and instrumentation::TBMM Engineering measurement and calibration
dc.subject.otherMesstechnik
dc.subject.otherKonfokalmikroskopie
dc.subject.otherRasterkraftmikroskopie
dc.subject.otherMetrologie
dc.titleUntersuchungen zur rasterkraft- und konfokalmikroskopischen Charakterisierung nanometrologischer Referenzkörper
dc.typebook
oapen.identifier.doi10.25593/978-3-96147-777-7
oapen.relation.isPublishedBy62db8887-5abf-48b9-8339-0a57ff2ea795
oapen.relation.isbn9783961477777
oapen.relation.isbn9783961477760
oapen.pages167
oapen.place.publicationErlangen
dc.seriesnumber452
dc.abstractotherlanguageHochgenaue Fertigungstechnologien stellen die dimensionelle Messtechnik vor enorme Herausforderungen. In Ermangelung geeigneter Sensorsysteme sind Messungen an komplexen Geometrien mit einem Höchstwert der Messunsicherheit im Nanometerbereich ein größtenteils immer noch ungelöstes Problem. Hauptursächlich ist das Fehlen geeigneter Verfahren zur hochgenauen Kalibrierung mikrodimensionaler Referenzkörper sowohl hinsichtlich ihrer Grob- als auch ihrer Feingestalt. In der vorliegenden Arbeit werden zwei diesbezüglich potentiell geeignete Messmethoden präsentiert und untersucht. Dies ist zum einen ein Rasterkraftmikroskop mit einstellbarer Antastrichtung zur Kalibrierung der Feingestalt und zum anderen die bidirektionale Konfokalmikroskopie zur Kalibrierung der Grobgestalt nanometrologischer Referenzkörper.


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