Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen
| dc.contributor.author | Kißling, Stephanie | * |
| dc.date.accessioned | 2021-02-11T09:47:05Z | |
| dc.date.available | 2021-02-11T09:47:05Z | |
| dc.date.issued | 2010 | * |
| dc.date.submitted | 2019-07-30 20:02:00 | * |
| dc.identifier | 35227 | * |
| dc.identifier.issn | 18695183 | * |
| dc.identifier.uri | https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/43097 | |
| dc.description.abstract | Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität untersucht. Des Weiteren wurde auf die Problematik der Rauheitsmessung der in ihrer Messlänge begrenzten Mikrostrukturen eingegangen und eine Lösung mittels der spektralen Leistungsdichte erarbeitet. | * |
| dc.language | German | * |
| dc.relation.ispartofseries | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik | * |
| dc.subject | T1-995 | * |
| dc.subject.classification | thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues | en_US |
| dc.subject.other | Chemisch-mechanisches Planarisieren (CMP) | * |
| dc.subject.other | Elektropolieren | * |
| dc.subject.other | Plasmapolieren | * |
| dc.subject.other | Rauheitsmessung | * |
| dc.subject.other | Mikrogalvanoformung | * |
| dc.title | Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen | * |
| dc.type | book | |
| oapen.identifier.doi | 10.5445/KSP/1000019375 | * |
| oapen.relation.isPublishedBy | 68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2 | * |
| oapen.relation.isbn | 9783866445482 | * |
| oapen.pages | II, 109 p. | * |
| oapen.volume | 6 | * |
| peerreview.review.type | Full text | |
| peerreview.anonymity | All identities known | |
| peerreview.reviewer.type | Editorial board member | |
| peerreview.reviewer.type | External peer reviewer | |
| peerreview.review.stage | Pre-publication | |
| peerreview.open.review | No | |
| peerreview.publish.responsibility | Books or series editor | |
| peerreview.id | 51a542ec-eaeb-47c2-861d-6022e981a97a | |
| peerreview.title | Dissertations in Series (Dissertationen in Schriftenreihe) |
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