Energieeffiziente Auswerteelektronik für kapazitive mikromechanische Drehratensensoren
Abstract
Der Bedarf an mikromechanischen Inertialsensoren zur Messung von Drehgeschwindigkeiten und Beschleunigungen ist stark ansteigend. Die Technologie für mikroelektromechanische Systeme (MEMS) bietet hierbei den Vorteil einer hohen Packungsdichte. In dieser Arbeit werden Ansätze auf Systemebene zur Reduktion der Stromaufnahme der Auswerteelektronik eines kapazitiven mikromechanischen Drehratensensors vorgestellt und so ein leistungsoptimierter Betrieb in mobilen Endanwendung ermöglicht.
Keywords
Mikromechanik; Inertialsensor; MEMS; energieeffizient; GyroISBN
9783866444492Publisher
KIT Scientific PublishingPublisher website
http://www.ksp.kit.edu/Publication date and place
2010Classification
Technology: general issues
Pages
147 p.Review type
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