Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren
| dc.contributor.author | Grund, Thomas | * |
| dc.date.accessioned | 2021-02-11T12:44:45Z | |
| dc.date.available | 2021-02-11T12:44:45Z | |
| dc.date.issued | 2010 | * |
| dc.date.submitted | 2019-07-30 20:01:59 | * |
| dc.identifier | 34778 | * |
| dc.identifier.issn | 18695183 | * |
| dc.identifier.uri | https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/46609 | |
| dc.description.abstract | Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung. | * |
| dc.language | German | * |
| dc.relation.ispartofseries | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik | * |
| dc.subject | T1-995 | * |
| dc.subject.classification | thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues | en_US |
| dc.subject.other | Serienfertigung | * |
| dc.subject.other | Mikrosystemtechnik | * |
| dc.subject.other | Formgedächtnislegierung | * |
| dc.subject.other | Ventil | * |
| dc.subject.other | Aktorik | * |
| dc.title | Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren | * |
| dc.type | book | |
| oapen.identifier.doi | 10.5445/KSP/1000016593 | * |
| oapen.relation.isPublishedBy | 68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2 | * |
| oapen.relation.isbn | 9783866444966 | * |
| oapen.pages | IX, 125 p. | * |
| oapen.volume | 2 | * |
| peerreview.review.type | Full text | |
| peerreview.anonymity | All identities known | |
| peerreview.reviewer.type | Editorial board member | |
| peerreview.reviewer.type | External peer reviewer | |
| peerreview.review.stage | Pre-publication | |
| peerreview.open.review | No | |
| peerreview.publish.responsibility | Books or series editor | |
| peerreview.id | 51a542ec-eaeb-47c2-861d-6022e981a97a | |
| peerreview.title | Dissertations in Series (Dissertationen in Schriftenreihe) |
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