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Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren

dc.contributor.authorGrund, Thomas*
dc.date.accessioned2021-02-11T12:44:45Z
dc.date.available2021-02-11T12:44:45Z
dc.date.issued2010*
dc.date.submitted2019-07-30 20:01:59*
dc.identifier34778*
dc.identifier.issn18695183*
dc.identifier.urihttps://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/46609
dc.description.abstractZiel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.*
dc.languageGerman*
dc.relation.ispartofseriesSchriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik*
dc.subjectT1-995*
dc.subject.classificationthema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issuesen_US
dc.subject.otherSerienfertigung*
dc.subject.otherMikrosystemtechnik*
dc.subject.otherFormgedächtnislegierung*
dc.subject.otherVentil*
dc.subject.otherAktorik*
dc.titleEntwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren*
dc.typebook
oapen.identifier.doi10.5445/KSP/1000016593*
oapen.relation.isPublishedBy68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2*
oapen.relation.isbn9783866444966*
oapen.pagesIX, 125 p.*
oapen.volume2*
peerreview.review.typeFull text
peerreview.anonymityAll identities known
peerreview.reviewer.typeEditorial board member
peerreview.reviewer.typeExternal peer reviewer
peerreview.review.stagePre-publication
peerreview.open.reviewNo
peerreview.publish.responsibilityBooks or series editor
peerreview.id51a542ec-eaeb-47c2-861d-6022e981a97a
peerreview.titleDissertations in Series (Dissertationen in Schriftenreihe)


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