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Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken

dc.contributor.authorStöffler, Dominik*
dc.date.accessioned2021-02-11T15:14:44Z
dc.date.available2021-02-11T15:14:44Z
dc.date.issued2012*
dc.date.submitted2019-07-30 20:02:00*
dc.identifier35027*
dc.identifier.issn21919925*
dc.identifier.urihttps://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/49240
dc.description.abstractIn der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.*
dc.languageGerman*
dc.relation.ispartofseriesExperimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut*
dc.subjectQC1-999*
dc.subject.classificationthema EDItEUR::P Mathematics and Science::PH Physicsen_US
dc.subject.otherElektromigration*
dc.subject.otherNanostrukturen*
dc.subject.otherRastersondenmikroskopie*
dc.subject.otherMaskenbedampfung*
dc.subject.otherElektronenstrahllithografie*
dc.titleHerstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken*
dc.typebook
oapen.identifier.doi10.5445/KSP/1000027524*
oapen.relation.isPublishedBy68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2*
oapen.relation.isbn9783866448438*
oapen.pagesIV, 98 p.*
oapen.volume5*
peerreview.review.typeFull text
peerreview.anonymityAll identities known
peerreview.reviewer.typeEditorial board member
peerreview.reviewer.typeExternal peer reviewer
peerreview.review.stagePre-publication
peerreview.open.reviewNo
peerreview.publish.responsibilityBooks or series editor
peerreview.id51a542ec-eaeb-47c2-861d-6022e981a97a
peerreview.titleDissertations in Series (Dissertationen in Schriftenreihe)


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