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Herstellung von Gitterstrukturen mit Aspektverhältnis 100 für die Phasenkontrastbildgebung in einem Talbot-Interferometer

dc.contributor.authorKenntner, Johannes*
dc.date.accessioned2021-02-11T15:14:50Z
dc.date.available2021-02-11T15:14:50Z
dc.date.issued2013*
dc.date.submitted2019-07-30 20:01:58*
dc.identifier34462*
dc.identifier.issn18695183*
dc.identifier.urihttps://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/49244
dc.description.abstractFür Objekte mit sehr ähnlichen Absorptionskoeffizienten, wie gesundes und karzinogenes Gewebe liefert der Absorptionskontrast häufig unzureichende Informationen. Eine vielversprechende Methode einer kontrastreichen Bildgebung bietet jedoch die Phasenkontrast Bildgebung in einem Talbot-Interferometer. Hierfür werden Gitter mit hohen Aspektverhältnissen benötigt. Im Rahmen dieses Buchs wird der LIGAProzess genutzt, um erstmalig Gitter mit einem Aspektverhältnis von mindestens 100 herzustellen.*
dc.languageGerman*
dc.relation.ispartofseriesSchriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik*
dc.subjectT1-995*
dc.subject.classificationthema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issuesen_US
dc.subject.otherTalbot-Interferometer*
dc.subject.otherLIGA*
dc.subject.otherAspektverhältnis*
dc.subject.otherPhasenkontrast*
dc.subject.otherRöntgenoptik*
dc.titleHerstellung von Gitterstrukturen mit Aspektverhältnis 100 für die Phasenkontrastbildgebung in einem Talbot-Interferometer*
dc.typebook
oapen.identifier.doi10.5445/KSP/1000034458*
oapen.relation.isPublishedBy68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2*
oapen.relation.isbn9783731500162*
oapen.pagesXII, 186 p.*
oapen.volume17*
peerreview.review.typeFull text
peerreview.anonymityAll identities known
peerreview.reviewer.typeEditorial board member
peerreview.reviewer.typeExternal peer reviewer
peerreview.review.stagePre-publication
peerreview.open.reviewNo
peerreview.publish.responsibilityBooks or series editor
peerreview.id51a542ec-eaeb-47c2-861d-6022e981a97a
peerreview.titleDissertations in Series (Dissertationen in Schriftenreihe)


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