Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem

Thumbnail
Download Url(s)
https://www.ksp.kit.edu/9783866448292
Author(s)
Auernhammer, Daniel
Language
German
Show full item record
Abstract
In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen.
URI
https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/50400
Keywords
Mikrosystemtechnik; Positionsermittlung; Ni-Mn-Ga; Ferromagnetische Formgedächtnislegierung; Ablenksystem
DOI
10.5445/KSP/1000027008
ISBN
9783866448292
Publisher
KIT Scientific Publishing
Publisher website
http://www.ksp.kit.edu/
Publication date and place
2012
Series
Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik,
Classification
Technology: general issues
Pages
VI, 132 p.
Review type
Full text
Anonymity
All identities known
Reviewer type
Editorial board member; External peer reviewer
Review stage
Pre-publication
Open review
No
Publish responsibility
Books or series editor
Rights
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
Except where otherwise noted, this item's license is described as https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/