MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
Abstract
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben.
Keywords
Optischer SensorISBN
3937300953Publisher
KIT Scientific PublishingPublisher website
http://www.ksp.kit.edu/Publication date and place
2006Series
Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik,Classification
Technology: general issues
Pages
XVIII, 91 p.Review type
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