MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
| dc.contributor.author | Bär, Manfred [Hrsg.] | * |
| dc.date.accessioned | 2021-02-11T20:27:02Z | |
| dc.date.available | 2021-02-11T20:27:02Z | |
| dc.date.issued | 2006 | * |
| dc.date.submitted | 2019-07-30 20:02:01 | * |
| dc.identifier | 35452 | * |
| dc.identifier.issn | 16145267 | * |
| dc.identifier.uri | https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/54182 | |
| dc.description.abstract | Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben. | * |
| dc.language | German | * |
| dc.relation.ispartofseries | Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik | * |
| dc.subject | T1-995 | * |
| dc.subject.classification | thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues | en_US |
| dc.subject.other | Optischer Sensor | * |
| dc.title | MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren | * |
| dc.type | book | |
| oapen.identifier.doi | 10.5445/KSP/1000003769 | * |
| oapen.relation.isPublishedBy | 68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2 | * |
| oapen.relation.isbn | 3937300953 | * |
| oapen.pages | XVIII, 91 p. | * |
| oapen.volume | 10 | * |
| peerreview.review.type | Full text | |
| peerreview.anonymity | All identities known | |
| peerreview.reviewer.type | Editorial board member | |
| peerreview.review.stage | Pre-publication | |
| peerreview.open.review | No | |
| peerreview.publish.responsibility | Books or series editor | |
| peerreview.id | c6dc0a31-a243-4016-9909-08d74a1f0e13 | |
| peerreview.title | Books in Series (Buch in Schriftenreihe) |
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