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MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren

dc.contributor.authorBär, Manfred [Hrsg.]*
dc.date.accessioned2021-02-11T20:27:02Z
dc.date.available2021-02-11T20:27:02Z
dc.date.issued2006*
dc.date.submitted2019-07-30 20:02:01*
dc.identifier35452*
dc.identifier.issn16145267*
dc.identifier.urihttps://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/54182
dc.description.abstractIm Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben.*
dc.languageGerman*
dc.relation.ispartofseriesSchriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik*
dc.subjectT1-995*
dc.subject.classificationthema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issuesen_US
dc.subject.otherOptischer Sensor*
dc.titleMyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren*
dc.typebook
oapen.identifier.doi10.5445/KSP/1000003769*
oapen.relation.isPublishedBy68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2*
oapen.relation.isbn3937300953*
oapen.pagesXVIII, 91 p.*
oapen.volume10*
peerreview.review.typeFull text
peerreview.anonymityAll identities known
peerreview.reviewer.typeEditorial board member
peerreview.review.stagePre-publication
peerreview.open.reviewNo
peerreview.publish.responsibilityBooks or series editor
peerreview.idc6dc0a31-a243-4016-9909-08d74a1f0e13
peerreview.titleBooks in Series (Buch in Schriftenreihe)


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